纳米级光学干涉测厚仪
应用： pet、pe、pmma等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层
产品简介：
psd-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学，用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度，以及安装在半导体制造设备上的apc和薄膜的质量控制，能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度，精确度可达纳米级。   
psd-2000型在线纳米级光学膜厚仪，其核心部件主要源自于美国ocean optics有限公司，其微型光谱仪体积小巧，可对全谱进行快速采集，产品应用广泛，可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业，可进行 low-e玻璃镀膜检测，ito玻璃镀膜检测，pet涂布在线膜厚检测，金属表面涂层检测，半导体，lcd膜厚检测等。
工作原理： 分光干涉法
当光入射到样品内部，会发生多重反射现象，多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱，而相位差取决于样品的折射率和光程，因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度，该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和fft两种方法对光谱进行分析。
应用范围：
•pet薄膜厚度测量
•涂层厚度测量，如hc，保护膜，光刻胶，oca，离型膜等涂布厚度或克重的测量
•用于包装的pet表面介质膜克重或膜厚测量
•金属表面透明和半透明漆膜涂层
产品优势：
在线扫描式或多点测量（多达15点）同时测量
通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量
提醒及警报功能(通过或失败)
反射(透射)和光谱测量
同步测量多层厚度
高速、高准确度
参数：
型号
psd-2000w
psd-2000p
psd-2000r
可测膜厚范围
15 nm - 100 um
2nm - 200 um
200nm-3000um
测量可重复性
0.02 μm
测量准确
±1%
光源
钨卤素灯
测量波长
380 - 1050 nm
250 - 1050 nm
900 - 1200 nm
光斑尺寸
约φ1 mm
工作距离
10 mm
可测层数
最多10层
分析
fft 分析，拟合分析
测量时间
19 ms/点
外部控制功能
ethernet
接口
usb 2.0（主单元与电脑接口）；rs-232c（光源与电脑接口）
电源
ac100 v — 240 v, 50 hz/60 hz
功耗
约330w（2通道）~450w（15通道）
psd-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪
用途：
·太阳能减反膜玻璃，tco玻璃，low-e玻璃，ito玻璃，光学玻璃镀膜等测量。
·pet膜透明胶膜厚测量
·膜厚，颜色，粗糙度，透过率，反射率，雾度
·可用于实验室离线测量
技术水平：
·精度0.1%，达到国际同类产品水平
·检测透明和半透明涂层
·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪，具有测量速度快，测量准确，操作简便的特点。
技术参数：
产品类型
可见光
紫外+可见光
厚度测量
15nm-100μm
1nm-100μm
折射率
厚度要求100nm以上
厚度要求50nm以上
准确性
2nm或0.5%
精度
0.1nm
测量时间
小于1秒
光斑大小
大约1mm
软件：
·实时显示反射率，透光率，膜厚（多层膜），颜色值和折射率；同时具有仿真功能
·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合
·在线/离线监控和历史数据界面
·输出至sql服务器；小型内置式sql
·可根据客户要求定制界面
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